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洁净室气流之流动

  洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

  一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

洁净室之构成

  洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：

  (1)天花板系统：包括吊杆、纲梁、天花板格子梁  (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。

  (3)隔墙板：包括窗户、门。

  (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。

  (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。

  洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：

  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；

  B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；

  C.吸湿性小；

  D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。

净化车间的正压维持

（一）维持净化车间正压的目的

《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001中规定，净化车间与周围的空间必须维持一定的压差，并应按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。还规定，不同等级的净化车间以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa”。

维持净化车间的压差是为了防止周围比它低级别的洁净空间、非洁净空间或室外空气的渗入和倒灌，影响净化车间洁净度的重要措施。净化车间失去了正压，也可以说失去了洁净度，不称其净化车间了。由此可见维持净化车间正压的重要意义。净化车间的正压是指净化车间门窗关闭条件下的正压值。

（二）净化车间的正压漏风量

净化车间正压是通过调节净化车间送风量要比回风量与排风量之和大一个正压漏风量而实现的。

净化车间的正压漏风量的大小，不仅与维持的正压值的大小有关，同时还与净化车间的密闭程度有关。

净化车间的正压漏风量可用缝隙法计算，也可用换气次数估计。

（三）维持净化车间正压的方法

1、设机械余压阀，调节平衡重锤可使正压维持在所需的正压值，此方法简单方便，一般余压阀设置在净化车间的下风向侧，净化车间正压超过规定值时余压阀自动开启排风。这种方法较为常用。

2、用净化车间的正压值自动控制新风量和回风量，使之正压漏风量自动稳定在某一个数量，来稳定净化车间规定的正压值。这一方法较为先进，但投资较高。

3、用回风口加过滤网加阻尼的办法来实现净化车间的正压。方法简单，但维护很难，正压值很难维持不变。

九、净化车间的消毒和灭菌

（一）消毒和灭菌的定义

消毒：是灭掉对人体有害的微生物、病菌、病毒。

灭菌：是灭掉一切的微生物。不管对人体有害、有益的微生物。

（二）消毒和灭菌的方法

1、药物法：是用无菌药物擦拭、喷雾和熏蒸的方法进行消毒灭菌，这些药物都具有一定的腐蚀性，因此要求被灭菌的表面都要有较好的耐腐蚀性能。

灭菌药物：① 乙烯氧化气体进行熏蒸。25℃，30%相对湿度，8~16小时。有一定毒性。

② 过氧乙酸。浓度2%喷雾。25℃，20分钟。有一定腐蚀性。

③ 丙烯酸气体熏蒸。25℃，相对湿度80%。用量7g/ m3。有一定毒性。

④ 甲醛气体熏蒸。25℃，相对湿度80%。用量35ml/ m3。有一定毒性。

⑤ 福尔马林气体熏蒸。25℃，相对湿度10%。10分钟。有刺激性。

2、紫外线照射：紫外线一般波长为1360~3900Å，以波长2537 Å的紫外线的杀菌能力。紫外灯的杀菌能力会随时间的增加而减弱；一般以点燃100小时的输出功率为额定输出功率，当紫外灯燃点到70%额定功率的点燃时间规定为紫外灯的平均寿命，紫外灯超过平均平均寿命后达不到预期的灭菌效果，应更换紫外灯。

紫外灯的灭菌效果还随菌种不同而不同，杀灭霉菌的照射量相当于杀灭杆菌照射量的40~50倍。紫外灯的灭菌效果还与空气的相对湿度有关，相对湿度为60%是设计值，当相对湿度超过60%时，尚须加大照射量。

紫外灯照射应在无人的状态下进行，因为对正常人体有定的伤害，紫外灯灭菌照射表面效果较好，但对流动的空气灭菌作用不大。

3、高温和高压蒸汽灭菌：高温干热灭菌温度一般为160 ~ 200℃。2小时才能达到灭菌目的；高压蒸汽湿热灭菌当温度为121℃时灭菌时间只为15 ~ 20分钟。

4、其他还有溶菌酶、纳米以及射线照射等灭菌方法。但最常用的是过滤器过滤方法灭菌，过滤器在过滤灰尘粒子的同时也将寄附在灰尘上的细菌和微生物过滤掉了

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